Haen S≤1㎡ 1㎡ 3㎡ 5㎡ 10㎡ 30㎡ 50㎡ 100㎡ 300㎡<S 2 Haen 4 7 7 8 8 9 10 12 RFQ 4 Haen 5 8 8 9 9 10 11 13 6 Haen 6 9 9 10 10 11 12 14 8 Haenau 7 10 10 11 11 12 13 15 10 Haenau 8 11 11 12 12 13 14 16 12 Haenau 9 12 12 13 13 14 15 17 ≧ 14 Haenau RFQ